1.

国際会議録

国際会議録
Kobayashi,S. ; Oka,N. ; Watanabe,K. ; Ohmori,K. ; Inoue,M. ; Iguchi,K.
出版情報: 19th Annual Symposium on Photomask Technology : 15-17 September 1999, Monterey, California.  Part1  pp.288-296,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3873
2.

国際会議録

国際会議録
Kobayashi,S. ; Watanabe,K. ; Ohmori,K.
出版情報: 20th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.801-809,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4186