1.

国際会議録

国際会議録
Kotani, T. ; Kyoh, S. ; Kobayashi, S. ; Inazu, T. ; Ikeuchi, A. ; Urakawa, Y. ; Inoue, S. ; Morita, E. ; Klaver, S. ; Horiuchi, T. ; Peeters, J. ; Kuramoto, S.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing IV : 23-24 February, 2006, San Jose, California, USA.  pp.61560H-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6156
2.

国際会議録

国際会議録
Kyoh, S. ; Kotani, T. ; Kobayashi, S. ; Ikeuchi, A. ; Inoue, S.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing IV : 23-24 February, 2006, San Jose, California, USA.  pp.61560F-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6156
3.

国際会議録

国際会議録
Kotani, T. ; Ichikawa, H. ; Kobayashi, S. ; Nojima, S. ; Izuha, K. ; Tanaka, S. ; Inoue, S.
出版情報: Design and process integration for microelectronic manufacturing III : 3-4 March 2005, San Jose, California, USA.  pp.219-229,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5756
4.

国際会議録

国際会議録
Kotani, T. ; Ichikawa, H. ; Urakami, T. ; Nojima, S. ; Kobayashi, S. ; Oikawa, Y. ; Tanaka, S. ; Ikeuchi, A. ; Suzuki, K. ; Inoue, S.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.628-637,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
5.

国際会議録

国際会議録
Kobayashi, S. ; Kyoh, S. ; Kotani, T. ; Tanaka, S. ; Inoue, S.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIII.  pp.62830R-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6283
6.

国際会議録

国際会議録
Kotani, T. ; Kobayashi, S. ; Ichikawa, H. ; Tanaka, S. ; Watanabe, S. ; Inoue, S.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.188-195,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691