1.

国際会議録

国際会議録
Yoon,J.-B. ; Lee,J.-D. ; Han,C.-H. ; Yoon,E. ; Kim,C.-K.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California.  pp.214-224,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3511
2.

国際会議録

国際会議録
Yoon,J.-B. ; Lee,J.-D. ; Han,C.-H. ; Yoon,E. ; Kim,C.-K.
出版情報: Materials and Device Characterization in Micromachining.  pp.358-366,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3512