1.

国際会議録
国際会議録
1. Effect of Metal Contamination and Improved Cleaning Strategies
Mertens, P.W. ; Bearda, T. ; Lowewenstein, L.M. ; Martin, A.R. ; Hub, W. ; Kolbesen, B.O. ; Teerlink, I. ; Vos, R. ; Baeyens, M. ; Gendt, S.De ; Kenis, K. ; Heyns, M.M.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Defects in Silicon.  pp.401-413,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-1
2.

国際会議録
国際会議録
2. Silicon Surface Metal Contamination Measurements Using Grazing-Emission XRF Spectrometry
Gendt, S. de ; Kenis, K. ; Baeyens, M. ; Mertens, P. W. ; Heyns, M. M. ; Wiener, G. ; Kidd, S. J. ; Knotter, D. M. ; Bokx, P. K. de
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.397-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477