1.

国際会議録

国際会議録
Vogt, B.D. ; Soles, C.L. ; Prabhu, V.M. ; Jones, R.L. ; Wu, W.-L. ; Lin, E.K. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.56-62,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
2.

国際会議録

国際会議録
Jones, R.L. ; Hu, T. ; Lin, E.K. ; Wu, W. ; Casa, D.M. ; Orji, N.G. ; Vorburger, T.V. ; Bolton, P.J. ; Barclay, G.G.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVII.  1  pp.191-199,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5038
3.

国際会議録

国際会議録
Lin, E.K. ; Jones, R.L. ; Wu, W.-L. ; Barker, J.G. ; Bolton, P.J. ; Barclay, G.G.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part One  pp.541-548,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689
4.

国際会議録

国際会議録
Jones, R.L. ; Soles, C.L. ; Starr, F.W. ; Lin, E.K. ; Lenhart, J.L. ; Wu, W.-L. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XIX.  Part One  pp.342-350,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4690
5.

国際会議録

国際会議録
Lin, E.K. ; Soles, C.L. ; Goldfarb, D.L. ; Trinque, B.C. ; Burns, S.D. ; Jones, R.L. ; Lenhart, J.L. ; Angelopoulos, M. ; Willson, C.G. ; Satija, S.K. ; Wu, W.-L.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XIX.  Part One  pp.313-320,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4690
6.

国際会議録

国際会議録
Jones, R.L. ; Hu, T. ; Soles, C.L. ; Lin, E.K. ; Wu, W.- ; Casa, D.M. ; Mahorowala, A.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII.  pp.191-198,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5375
7.

国際会議録

国際会議録
Jones, R.L. ; Hu, T. ; Prabhu, V.M. ; Soles, C.L. ; Lin, E.K. ; Wu, W. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M. ; Trinque, B.C.] ; Willson, C.G.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XX.  2  pp.1031-1040,  2003.  Bellingham, CA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5039
8.

国際会議録

国際会議録
Lenhart, J.L. ; Fischer, D.A. ; Sambasivan, S. ; Lin, E.K. ; Jones, R.L. ; Soles, C.L. ; Wu, W. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XX.  1  pp.343-356,  2003.  Bellingham, CA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5039
9.

国際会議録

国際会議録
Soles, C.L. ; Jones, R.L. ; Lenhart, J.L. ; Prabhu, V.M. ; Wu, W. ; Lin, E.K. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XX.  1  pp.366-375,  2003.  Bellingham, CA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5039
10.

国際会議録

国際会議録
Prabhu, V.M. ; Jones, R.L. ; Lin, E.K. ; Soles, C.L. ; Wu, W. ; Goldfarb, D.L. ; Angelopoulos, M.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XX.  1  pp.404-414,  2003.  Bellingham, CA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5039