1.

国際会議録
国際会議録
1. Mechanistic Studies of Silicon Wafer Bonding and Layer Exfoliation
Weldon, M.K. ; Marsico, V.E. ; Chabal, Y.J. ; Agarwal, A. ; Eaglesham, D.J. ; Sapjeta, J. ; Brown, W.L. ; Jacobson, D.C. ; Caudano, Y. ; Christman, S.B. ; Chaban, E.E.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding : science, technology, and applications.  pp.229-248,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-36
2.

国際会議録
国際会議録
2. HIGH ENERGY IMPLANTATION OF BORON: REDUCTION OF THREADING DISLOCATION DENSITY IN THE BAD DOSE REGION
Bourdelle, K.K. ; Eaglesham, D.J. ; Jacobson, D.C. ; Agarwal, A.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.1241-1249,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(2)
3.

国際会議録
国際会議録
3. BORON-ENHANCED-DIFFUSION OF BORON FROM ULTRA- LOW-ENERGY BORON IMPLANTATION
Agarwal, A. ; Eaglesham, D.J. ; Gossmann, H.-J. ; Pelaz, L. ; Herner, S.B. ; Jacobson, D.C. ; Haynes, T.E. ; Erokhin, Yu E.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.1232-1240,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(2)
4.

国際会議録
国際会議録
4. Ultra-Shallow Junction Formation Using Ion Implantation and Rapid Thermal Annealing: Physical and Practical Limits
Agarwal, A. ; Gossmann, H.-J.L. ; Fiory, A.T. ; Venezia, V.C. ; Jacobson, D.C.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies : proceedings of the international symposium.  pp.49-60,  2000.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-9
5.

国際会議録
国際会議録
5. VACANCY SUPERSATURATION PRODUCED BY HIGH-ENERGY ION IMPLANTATION
Venezia, V.C. ; Eaglesham, D.J. ; Haynes, T.E. ; Agarwal, A. ; Jacobson, D.C. ; Gossmann, H.-J. ; Friessnegg, T. ; Nielsen, B.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.926-937,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(2)