1.

国際会議録

国際会議録
Ichikawa, Y. ; Maekawa, S. ; Takashima, K. ; Shimojo, M. ; Higo, Y. ; Swain, M. V.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices II : symposium held November 29-December 1, 1999, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.273-,  2000.  Warrendale, Pa..  MRS-Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 605
2.

国際会議録

国際会議録
Mizutani, Y. ; Higo, Y. ; Ichikawa, Y. ; Morita, A. ; Takashima, K. ; Swain, M.V.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices III : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A..  2001.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 657