1.

国際会議録
国際会議録
1. Silicon surface micromachining by anhydrous HF gas-phase etching with methanol
Jang,W.I. ; Choi,C.A. ; Lee,C.S. ; Hong,Y.S. ; Lee,J.H. ; Baek,J.T. ; Kim,B.W.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California.  pp.143-150,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3511
2.

国際会議録
国際会議録
2. Control and modeling of stress in multistacked polysilicon films considering oxidation effect
Lee,C.S. ; Jang,W.I. ; Choi,C.A. ; Hong,Y.S. ; Lee,J.H. ; No,K. ; Wee,D.M.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California.  pp.315-324,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3511