1.

国際会議録
国際会議録
1. INTRINSIC GETTERING OF IRON IN SILICON: A QUANTITATIVE STUDY
Colas, E.G. ; Weber, E.R. ; Hahn, S.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.13-20,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
2.

国際会議録
国際会議録
2. QUANTITATIVE STUDY OF METAL GETTERING IN SILICON
Colas, E.G. ; Weber, E. R. ; Hahn, S.
出版情報: Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon : symposium held December 2-5, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.341-346,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 59