1.

国際会議録
国際会議録
1. Simulators of Thin Film Deposition for Silicon Device Processing
Gilmer, G. H. ; Baumann, F. H. ; Rubia, T. Diaz de la
出版情報: Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.119-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 514
2.

国際会議録
国際会議録
2. Atomic Scale Simulations of Arsenic Ion Implantation and Annealing in Silicon
Caturla, M. -J. ; Rubia, T. Diaz de la ; Jaraiz, M. ; Gilmer, G. H.
出版情報: Ion-solid interactions for materials modification and processing : symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.45-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 396
3.

国際会議録
国際会議録
3. POINT DEFECT PRODUCTION, GEOMETRY AND STABILITY IN SILICON: A MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION STUDY
Caturla, M.-J. ; Rubia, T. Diaz de la ; Gilmer, G. H.
出版情報: Materials synthesis and processing using ion beams : symposium held November 29-December 3, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.141-,  1994.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 316