1.
国際会議録
Kurose, E. ; Watanabe, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報:
Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI . pp.603-614, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5446
2.
国際会議録
Furukawa, T. ; Hagiwara, T. ; Kawaguchi, E. ; Matsunaga, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XXI . pp.1064-1073, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5376
3.
国際会議録
Suganaga, T. ; Lee, J.-W. ; Kurose, E. ; Ishimaru, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K. ; Cashmore, J.S. ; Gower, M.
出版情報:
Optical Microlithography XVII . pp.104-115, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5377
4.
国際会議録
Watanabe, K. ; Hagiwara, T. ; Matsuura, S. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報:
Optical Microlithography XVII . pp.537-544, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5377
5.
国際会議録
Suganaga, T. ; Watanabe, K. ; Matsuura, S. ; Hagiwara, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報:
Optical Microlithography XVII . pp.1616-1626, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5377
6.
国際会議録
Otoguro, A. ; Irie, S. ; Ishimaru, T. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XXI . pp.245-253, 2004. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5376