1.

国際会議録

国際会議録
Kurose, E. ; Watanabe, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XI.  pp.603-614,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5446
2.

国際会議録

国際会議録
Kawaguchi, Y. ; Sasaki, T. ; Irisawa, J. ; Yokokoji, O. ; Irie, S. ; Otoguro, A. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.525-532,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
3.

国際会議録

国際会議録
Furukawa, T. ; Hagiwara, T. ; Kawaguchi, E. ; Matsunaga, K. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.1064-1073,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
4.

国際会議録

国際会議録
Matsui, H. ; Kitano, J. ; Yoshihara, K. ; Kawaguchi, E. ; Furukawa, T. ; Matsunaga, K. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.1074-1081,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
5.

国際会議録

国際会議録
Suganaga, T. ; Lee, J.-W. ; Kurose, E. ; Ishimaru, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K. ; Cashmore, J.S. ; Gower, M.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.104-115,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
6.

国際会議録

国際会議録
Watanabe, K. ; Hagiwara, T. ; Matsuura, S. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.537-544,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
7.

国際会議録

国際会議録
Suganaga, T. ; Watanabe, K. ; Matsuura, S. ; Hagiwara, T. ; Furukawa, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1616-1626,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
8.

国際会議録

国際会議録
Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Egawa, K. ; Sumitani, A. ; Sasaki, H. ; Higasikawa, I. ; Irie, S. ; Fujii, K. ; Itani, T. ; Nakano, H. ; Hata, H.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1606-1615,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
9.

国際会議録

国際会議録
Irie, S. ; Fujii, K. ; Itakura, Y. ; Kawasa, Y. ; Egawa, K. ; Uchino, I. ; Sumitani, A. ; Itani, T.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.226-237,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
10.

国際会議録

国際会議録
Otoguro, A. ; Irie, S. ; Ishimaru, T. ; Suganaga, T. ; Itani, T. ; Fujii, K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.245-253,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376