1.

国際会議録
国際会議録
1. CORRELATION OF ELECTRICAL, STRUCTURAL, AND OPTICAL PROPERTIES OF ERBIUM IN SILICON
Benton, J.L. ; Eaglesham, D.J. ; Almonte, M. ; Citrin, P.R. ; Marcus, M.A. ; Adler, D.L. ; Jacobson, D.C. ; Poate, J.M.
出版情報: Silicon-based optoelectronic materials : Symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.447-452,  1993.  Pittsburgh, PA.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 298
2.

国際会議録
国際会議録
2. EVALUATION OF PHYSICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF MOLYBDENUM IN SILICON FOR IC PROCESSING
Benton, J.L. ; Jacobson, D.C. ; Jackson, B. ; Johnson, J.A. ; Eaglesham, D.J. ; Stevie, A. ; Becerro, J.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.1213-1223,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(2)
3.

国際会議録
国際会議録
3. Defect Evolution in Ion Implanted Silicon
Benton, J.L. ; Libertino, S. ; Eaglesham, D.J. ; Coffa, S.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium on High Purity Silicon V.  pp.328-340,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-13
4.

国際会議録
国際会議録
4. The Mechanisms of Iron Gettering in Silicon by Boron Ion-Implantation
Benton, J.L. ; Stolk, P.A. ; Eaglesham, D.J. ; Jacobson, D.C. ; Cheng, J.Y. ; Poate, J.M. ; Myers, S.M. ; Haynes, T.E
出版情報: ULSI science and technology, 1995 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology.  pp.153-160,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-5