1.

国際会議録
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1. ISLAND FORMATION IN Ge ON Si HETEROEPITAXY
Eaglesham, D. J. ; Cossmann, H.-J. ; Cerullo, M.
出版情報: Epitaxial heterostructures : symposium held April 16-19, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.51-56,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 198
2.

国際会議録
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2. THE NUCLEATION AND PROPAGATION OF MISFIT DISLOCATIONS NEAR THE CRITICAL THICKNESS IN Ge-Si STRAINED EPILAYERS
Kvam, E. P. ; Eaglesham, D. J. ; Maher, D. M. ; Humphreys, C. J. ; Bean, J. C. ; Green, G. S. ; Tanner, B. K.
出版情報: Defects in electronic materials : symposium held November 30-December 3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.623-628,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 104
3.

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3. MICROSTRUCTURE AND ELECTROMIGRATION PROPERTIES OF SUBMICRON Al(.5%Cu) LINES
Prybyla, J. A. ; Kola, R. R. ; Hull, R. ; Eaglesham, D. J. ; Huggins, H. A.
出版情報: Mechanisms of thin film evolution.  pp.219-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 317
4.

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4. Atomistic Model of Transient-Enhanced Diffusion and Clustering of Boron in Silicon
Pelaz, L. ; Gilmer, G. H. ; Jaraiz, M. ; Gossmann, H-J. ; Rafferty, C. S. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.341-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
5.

国際会議録
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5. Enhanced Diffusion of Dopants in Vacancy Supersaturation Produced by MeV Implantation
Venezia, V. C. ; Haynes, T. E. ; Agarwal, A. ; Gossmann, H-J. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.303-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
6.

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6. The Effect of the Extra Ion on Residual Damage in MeV-Implanted Si
Libertino, S. ; Benton, J. L. ; Coffa, S. ; Jacobson, D. C. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M. ; Lavalle, M. ; Fuochi, P. G.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.187-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
7.

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7. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.81-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
8.

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8. CoSi2/Si(111) INTERFACE STRUCTURE AND ITS INFLUENCE ON THE SCHOTTKY BARRIER
Sullivan, J. P. ; Graham, W. R. ; Schrey, F. ; Eaglesham, D. J. ; Kola, R. ; Tung, R. T.
出版情報: Silicides, germanides, and their interfaces : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.249-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 320
9.

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9. Characterization of Interstitial Defect Clusters in Ion-Implanted Si
Benton, J. L. ; Libertino, S. ; Coffa, S. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.193-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
10.

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10. UNDERSTANDING AND CONTROLLING TRANSIENT ENHANCED DOPANT DIFFUSION IN SILICON
Stolk, P. A. ; Gossmann, H.-J. ; Eaglesham, D. J. ; Jacobson, D. C. ; Luftman, H. S. ; Poate, J. M.
出版情報: Beam-solid interactions for materials synthesis and characterization : symposium held November 28-December 2, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.307-,  1995.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 354
11.

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11. DEFECT TRAPPING AND PRECIPITATION PROCESSES DURING ANNEALING OF Cu AND Au IMPLANTED Si
Wong-Leung, J. ; Nygren, E. ; Williams, J. S. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Beam-solid interactions for materials synthesis and characterization : symposium held November 28-December 2, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.255-,  1995.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 354
12.

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12. EQUILIBRIUM SHAPE OF CoSi2 IN SILICON
Adams, D. P. ; Yalisove, S. M. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Phase transformations in thin films : thermodynamics and kinetics : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.287-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 311
13.

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13. ION IMPLANTED CALIBRATION STANDARDS FOR Si SURFACE CONTAMINATION DETECTION BY TXRF
Jacobson, D. C. ; Poate, J. M. ; Higashi, G. S. ; Boone, T. ; Eaglesham, D. J. ; Hockett, Richard
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.347-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
14.

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14. Temperature- and Time-Dependence of Boron-Enhanced Diffusion from Evaporated- and Ultra-Low Energy Ion-Implanted Layers
Agarwal, A. ; Gossmann, H-J. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions : symposium held April 6-9, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.3-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 568
15.

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15. Heteroepitaxy of CoSi2 on Patterned Si(100) Substrates
Karpenko, O. P. ; Eaglesham, D. J. ; Yalisove, S. M.
出版情報: Silicide thin films - fabrication, properties, and applications : Symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, USA.  pp.481-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 402
16.

国際会議録
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16. Energetic Ion Beams in Semiconductor Processing: Summary of a DOE Panel Study
Picraux, S. T. ; Chason, E. ; Poate, J. M. ; Borland, J. O. ; Current, M. I. ; Rubia, T. Diaz de la ; Eaglesham, D. J. ; Holland, O. W. ; Law, M. E. ; Magee, C. W. ; Mayer, J. W. ; Melngailis, J. ; Tasch, A. F.
出版情報: Ion-solid interactions for materials modification and processing : symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.859-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 396
17.

国際会議録
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17. MESOTAXY LAYERS OF IrSi3 IN (111)Si FORMED BY MeV ION IMPLANTATION
Short, K. T. ; White, Alice E. ; Eaglesham, D. J. ; Jacobson, D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Phase formation and modification by beam-solid interactions : symposium held December 2-6, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.279-284,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 235
18.

国際会議録
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18. LOW TEMPERATURE Si HOMOEPITAXY: EFFECTS OF IMPURITIES ON MICROSTRUCTURE
Adams, D. P. ; Eaglesham, D. J. ; Yalisove, S. M.
出版情報: Common themes and mechanisms of epitaxial growth : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.29-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 312
19.

国際会議録
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19. Phase Transformation of Titanium Disilicide Induced by High-Temperature Squttering
Fujii, K. ; Tung, R. T. ; Eaglesham, D. J. ; Kikuta, K. ; Kikkawa, T.
出版情報: Silicide thin films - fabrication, properties, and applications : Symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, USA.  pp.83-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 402
20.

国際会議録
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20. Correlation of electrical, structural, and optical properties of erbium in silicon
Benton, J. L. ; Eaglesham, D. J. ; Almonte, M. ; Citrin, P. H. ; Marcus, M. A. ; Adler, D. L. ; Jacobson, D. C. ; Poate. J. M.
出版情報: Rare earth doped semiconductors : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.119-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 301
21.

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21. ECR PLASMA ENHANCED MOCVD OF TITANIUM NITRIDE
Gross, M. E. ; Weber, A. ; Nikulski, R. ; Klages, C. -P. ; Charatan, R. M. ; Brown, W. L. ; Dons, E. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Gas-phase and surface chemistry in electronic materials processing : symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.323-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 334
22.

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22. Properties of Point-Defects in Si for Process Modeling
Gossmann, H. J. ; Rafferty, C. S. ; Stolk, P. A. ; Eaglesham, D. J. ; Gilmer, G. H. ; Poate, J. M. ; Vuong, H.-H. ; Mogi, T. K. ; Thompson, M. O.
出版情報: Modeling and simulation of thin-film processing : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.3-,  1995.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 389
23.

国際会議録
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23. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Materials reliability in microelectronics VII : symposium held April 8-12, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.141-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 473