1.

国際会議録
国際会議録
1. Atomistic Model of Transient-Enhanced Diffusion and Clustering of Boron in Silicon
Pelaz, L. ; Gilmer, G. H. ; Jaraiz, M. ; Gossmann, H-J. ; Rafferty, C. S. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.341-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
2.

国際会議録
国際会議録
2. The Effect of the Extra Ion on Residual Damage in MeV-Implanted Si
Libertino, S. ; Benton, J. L. ; Coffa, S. ; Jacobson, D. C. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M. ; Lavalle, M. ; Fuochi, P. G.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.187-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
3.

国際会議録
国際会議録
3. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.81-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
4.

国際会議録
国際会議録
4. UNDERSTANDING AND CONTROLLING TRANSIENT ENHANCED DOPANT DIFFUSION IN SILICON
Stolk, P. A. ; Gossmann, H.-J. ; Eaglesham, D. J. ; Jacobson, D. C. ; Luftman, H. S. ; Poate, J. M.
出版情報: Beam-solid interactions for materials synthesis and characterization : symposium held November 28-December 2, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.307-,  1995.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 354
5.

国際会議録
国際会議録
5. ION IMPLANTED CALIBRATION STANDARDS FOR Si SURFACE CONTAMINATION DETECTION BY TXRF
Jacobson, D. C. ; Poate, J. M. ; Higashi, G. S. ; Boone, T. ; Eaglesham, D. J. ; Hockett, Richard
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.347-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
6.

国際会議録
国際会議録
6. Energetic Ion Beams in Semiconductor Processing: Summary of a DOE Panel Study
Picraux, S. T. ; Chason, E. ; Poate, J. M. ; Borland, J. O. ; Current, M. I. ; Rubia, T. Diaz de la ; Eaglesham, D. J. ; Holland, O. W. ; Law, M. E. ; Magee, C. W. ; Mayer, J. W. ; Melngailis, J. ; Tasch, A. F.
出版情報: Ion-solid interactions for materials modification and processing : symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.859-,  1996.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 396
7.

国際会議録
国際会議録
7. MESOTAXY LAYERS OF IrSi3 IN (111)Si FORMED BY MeV ION IMPLANTATION
Short, K. T. ; White, Alice E. ; Eaglesham, D. J. ; Jacobson, D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Phase formation and modification by beam-solid interactions : symposium held December 2-6, 1991, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.279-284,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 235
8.

国際会議録
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8. Properties of Point-Defects in Si for Process Modeling
Gossmann, H. J. ; Rafferty, C. S. ; Stolk, P. A. ; Eaglesham, D. J. ; Gilmer, G. H. ; Poate, J. M. ; Vuong, H.-H. ; Mogi, T. K. ; Thompson, M. O.
出版情報: Modeling and simulation of thin-film processing : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.3-,  1995.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 389
9.

国際会議録
国際会議録
9. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Materials reliability in microelectronics VII : symposium held April 8-12, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.141-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 473