1.

国際会議録
国際会議録
1. The Effect of the Extra Ion on Residual Damage in MeV-Implanted Si
Libertino, S. ; Benton, J. L. ; Coffa, S. ; Jacobson, D. C. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M. ; Lavalle, M. ; Fuochi, P. G.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.187-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
2.

国際会議録
国際会議録
2. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.81-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
3.

国際会議録
国際会議録
3. Characterization of Interstitial Defect Clusters in Ion-Implanted Si
Benton, J. L. ; Libertino, S. ; Coffa, S. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.193-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
4.

国際会議録
国際会議録
4. Correlation of electrical, structural, and optical properties of erbium in silicon
Benton, J. L. ; Eaglesham, D. J. ; Almonte, M. ; Citrin, P. H. ; Marcus, M. A. ; Adler, D. L. ; Jacobson, D. C. ; Poate. J. M.
出版情報: Rare earth doped semiconductors : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.119-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 301
5.

国際会議録
国際会議録
5. Impact of Metal Contamination of 7.0 nm Gate Oxides on Various Substrate Materials
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Materials reliability in microelectronics VII : symposium held April 8-12, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.141-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 473