1.

国際会議録
国際会議録
1. Dry Etching of Sub-Micron Emitter in InP Heterojunction Double Bipolar Transistor Using Inductively Coupled Plasma
P. Nam ; P. C. Chang ; D. Sawdai ; V. Gambin ; D. Scott ; J. Gonzalez ; D. Li ; G. S. Leslie ; X. Zeng ; J. Wang ; D. Matheson ; L. Dang ; R. Elmadjian ; C. Grossman ; M. Barsky ; A. Gutierrez-Aitken ; A. Oki ; S. Olson
出版情報: State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XLIII) and Nitride and Wide Bandgap Semiconductors for Sensors, Photonics, and Electronics VI.  pp.88-93,  2006.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 1(2)
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. Coupled Fluid-Dynamic Electromagnetic Modeling of Arc Heaters
D. Li ; X. Zeng ; C. Merkle ; E. Felderman ; J. Sheeley
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2006.  Reston, Va.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
シリーズ巻号: 2006