1.

国際会議録
国際会議録
1. ECR, ICP and RIE plasma etching of GaN
Shul, R.J. ; McClellan, G.B. ; Rieger, D.J. ; Hafich, M.J. ; Drummond, T.J. ; Pearton, S.J. ; Abernathy, C.R. ; Constantine, C. ; Barratt, C. ; Karlicek, R.F., Jr. ; Tran, A.C. ; Schurmann, M.
出版情報: Proceedings of the First Symposium on III-V Nitride Materials and Processes.  pp.159-167,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-11
2.

国際会議録
国際会議録
2. Silicon Nitride Passivation for InP Based Devices
Ren, F. ; Buckley, N. ; Lee, K. ; Pearton, S.J. ; Bartynski, R.A. ; Constantine, C. ; Hobson, W.S. ; Chao, P.C.
出版情報: Proceedings of the Twenty-first State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XXI).  pp.187-196,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-34
3.

国際会議録
国際会議録
3. Comparison of ICI and IBr Plasma Chemistries for Etching of InGaAlP Alloys
Hong, J. ; Lee, J.W ; Lambers, E.S. ; Abernathy, C.R ; Pearton, S.J. ; Constantine, C. ; Hobson, W.S.
出版情報: Proceedings of the Symposium on High Speed III-V Electronics for Wireless Applications and the twenty-fifth State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XXV).  pp.56-64,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-15
4.

国際会議録
国際会議録
4. Plasma-Induced-Damage of GaN
Shul, R.J. ; Zolper, J.C. ; Hagerott Crawford, M. ; Hickamn, R.J. ; Briggs, R.D. ; Pearton, S.J. ; Lee, J.W. ; Karlicek, R.F., Jr. ; Tran, C. ; Schurman, M. ; Constantine, C. ; Barratt, C.
出版情報: Proceedings of the Symposium on High Speed III-V Electronics for Wireless Applications and the twenty-fifth State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XXV).  pp.232-243,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-15
5.

国際会議録
国際会議録
5. ICP Etching of GaAs Via Hole Contacts
Shul, R.J. ; Baca, A.G. ; Briggs, R.D. ; McClellan, G.B. ; Pearton, S.J. ; Constantine, C.
出版情報: Proceedings of the Symposium on High Speed III-V Electronics for Wireless Applications and the twenty-fifth State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XXV).  pp.84-92,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-15