1.

国際会議録
国際会議録
1. Chlorine-Based Plasma Etching of GaN
Shul, R. J. ; Briggs, R. D. ; Pearton, S. J. ; Vartuli, C. B. ; Abernathy, C. R. ; Lee, J. W. ; Constantine, C. ; Barratt, C.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.969-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
2.

国際会議録
国際会議録
2. ICP Dry Etching of III-V Nitrides
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Donovan, S. M. ; Abernathy, C. R. ; Pearton, S. J. ; Shul, R. J. ; Constantine, C. ; Barratt, C. ; Katz, A. ; Poyakov, A. Y. ; Shin, M. ; Skowronski, M.
出版情報: Gallium nitride and related materials II : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.393-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 468
3.

国際会議録
国際会議録
3. Parametric Study of Compound Semiconductor Etching Utilizing Inductively Coupled Plasma Source
Constantine, C. ; Johnson, D. ; Barratt, C. ; Shul, R. J. ; McClellan, G. B. ; Briggs, R. D. ; Rieger, D. J. ; Karlicek, R. F., Jr. ; Lee, J. W. ; Pearton, S. J.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.431-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
4.

国際会議録
国際会議録
4. ECR, ICP and RIE plasma etching of GaN
Shul, R.J. ; McClellan, G.B. ; Rieger, D.J. ; Hafich, M.J. ; Drummond, T.J. ; Pearton, S.J. ; Abernathy, C.R. ; Constantine, C. ; Barratt, C. ; Karlicek, R.F., Jr. ; Tran, A.C. ; Schurmann, M.
出版情報: Proceedings of the First Symposium on III-V Nitride Materials and Processes.  pp.159-167,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-11
5.

国際会議録
国際会議録
5. Plasma-Induced-Damage of GaN
Shul, R.J. ; Zolper, J.C. ; Hagerott Crawford, M. ; Hickamn, R.J. ; Briggs, R.D. ; Pearton, S.J. ; Lee, J.W. ; Karlicek, R.F., Jr. ; Tran, C. ; Schurman, M. ; Constantine, C. ; Barratt, C.
出版情報: Proceedings of the Symposium on High Speed III-V Electronics for Wireless Applications and the twenty-fifth State-of-the-Art Program on Compound Semiconductors (SOTAPOCS XXV).  pp.232-243,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-15