1.

国際会議録
国際会議録
1. The study to enhance the accuracy of FIB repair on mask pattern of DRAM [6152-94]
Choi, Y. ; Kim, H. ; Kim, S. ; Han, O.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX.  pp.61522H-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6152
2.

国際会議録
国際会議録
2. The CD measuring repeatability enhancement by intensity gradient [6283-49]
Choi, Y. ; Kim, S. ; Kim, M. ; Han, O.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIII.  pp.62832F-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6283
3.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
3. Evaluation on High Damping Alumina Matrix Composites for Low Noise material.
Choi, Y. ; Kim, S. ; Hur, T.
出版情報: SME technical paper.  2004.  Society of Manufacturing Engineers