1.

国際会議録
国際会議録
1. Hydrogen-induced actuation: a new active mechanism for MEMS
Zhang, Y. ; Ding, G. ; Yang, C. ; Yu, A. ; Cai, B.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.131-137,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
2.

国際会議録
国際会議録
2. Effect of microstructure of TiNi/Si diaphragm on thermal-actuating performance
Cheng, X. ; Xu, D. ; Chen, J. ; Cai, B. ; Ding, G.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.147-152,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
3.

国際会議録
国際会議録
3. Electrochemical studies of electrodeposition of nickel for LIGA microstructures
Ding, G. ; Zhang, Y. ; Liu, J. ; Zhao, X. ; Cai, B. ; Shen, T.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.306-311,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601
4.

国際会議録
国際会議録
4. Electromagnetic MEMs eight-channel variable optical attenuator array (Invited Paper)
Dai, X. ; Zhao, X. ; Ding, G. ; Cai, B.
出版情報: MEMS/MOEMS Technologies and Applications II.  pp.1-6,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5641
5.

国際会議録
国際会議録
5. Fabrication of high-aspect-ratio microstructure on metallic substrate using SU-8 resist
Liu, J. ; Cai, B. ; Zhu, J. ; Ding, G. ; Zhao, X. ; Yang, C. ; Chen, D.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices.  pp.200-204,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4601