1.

国際会議録
国際会議録
1. A COMPARISON OF THE ROUGHNESS OF VARIOUS Si/SiO2 INTERFACES USING SYNCHROTRON X-RAY DIFFRACTION
Tang, Mau-Tsu ; Evans-Lutterodt, K. W. ; Higashi, G. S. ; Boone, T.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.399-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
2.

国際会議録
国際会議録
2. Hot Water Etching of Silicon Surfaces: New Insights of Mechanistic Understanding and Implications to Device Fabrication
Rosamilia, J. M. ; Boone, T. ; Sapjeta, J. ; Raghavachari, K. ; Higashi, G. S. ; Liu, Q.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.181-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
3.

国際会議録
国際会議録
3. HF-IMMERSION INDUCTIVELY COUPLED CARRIER LIFETIME CHARACTERIZATION OF FURNACE-OXIDE GROWTH
Boone, T. ; Higashi, G. S. ; Benton, J. L. ; Kistler, R. C. ; Weber, G. R. ; Keller, R. C. ; Makris, G.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.359-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
4.

国際会議録
国際会議録
4. ION IMPLANTED CALIBRATION STANDARDS FOR Si SURFACE CONTAMINATION DETECTION BY TXRF
Jacobson, D. C. ; Poate, J. M. ; Higashi, G. S. ; Boone, T. ; Eaglesham, D. J. ; Hockett, Richard
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.347-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
5.

国際会議録
国際会議録
5. EFFECT OF HOT WATER EXPOSURE ON BARE SILICON SURFACES IN MOS PROCESSING
Eisenberg, J. H. ; Shive, S. F. ; Stevie, F. ; Higashi, G. S. ; Boone, T. ; Hanson, K. ; Sapjeta, J. B. ; DiBello, G. N. ; Fulford, K. L.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.485-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315