1.

国際会議録
国際会議録
1. Unibond SOI wafers achieved by Smart-Cut process
Bruel, M. ; Aspar, B. ; Maleville, C. ; Moriceau, H. ; Auberton-Herve, A.J. ; Barge, T.
出版情報: Proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices.  pp.3-14,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-23
2.

国際会議録
国際会議録
2. Unibond SOI Wafers Achieved by Smart-Cut Process
Bruel, M. ; Aspar, B. ; Maleville, C. ; Moriceau, H. ; Auberton-Herve, A.J. ; Barge, T.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding : science, technology, and applications.  pp.13-24,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-36