1.

国際会議録
国際会議録
1. The random contact hole solutions for future technology nodes
A. Chen ; S. Hansen ; M. Moers ; J. Shieh ; A. Engelen ; K. van I. Schenau ; S. Tseng
出版情報: Optical microlithography XX.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6520
2.

国際会議録
国際会議録
2. The contact hole solutions for future logic technology nodes
A. Chen ; S. Hansen ; M. Moers ; J. Shieh ; A. Engelen
出版情報: Quantum optics, optical data storage, and advanced microlithography : 12-14 November 2007, Beijing, China.  pp.68271O-1-68271O-12,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6827