1.

国際会議録

国際会議録
W. P. Maszara ; Z. Krivokapic ; Q. Xiang ; M. Lin
出版情報: Silicon materials science and technology X.  pp.329-340,  2006.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 2(2)
2.

国際会議録

国際会議録
Z. Krivokapic ; W.D. Heavlin ; D.F. Kyser
出版情報: Optical/laser microlithography VIII : 22-24 February, 1995, Santa Clara, California.  pp.480-493,  1995.  Bellingham, WA.  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2440