1.
国際会議録
Hong,J.-S. ; Kim,H.-B. ; Yune,H.-S. ; Ahn,C.-N. ; Koo,Y.-M. ; Baik,K.-H.
出版情報:
Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA . Part2 pp.1024-1032, 2000. Bellingham, Wash., USA. SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4000
2.
国際会議録
Yune,H.-S. ; Kim,H.-B. ; Kim,W.-H. ; Ahn,C.-N. ; Ham,Y.-M. ; Shin,K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XIV . 4346 pp.241-250, 2001. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4346
3.
国際会議録
Koo,S.-S. ; Kim,H.-B. ; Yune,H.-S. ; Hong,J.-S. ; Paek,S.-W. ; Eom,T.-S. ; Ahn,C.-N. ; Ham,Y.-M. ; Baik,K.-H. ; Lee,K.-Y. ; Kim,L.-J. ; Kim,H.-S.
出版情報:
20th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . pp.346-358, 2000. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4186