1.

国際会議録

国際会議録
Fritze,M. ; Burns,J.M. ; Wyatt,P.W. ; Astolfi,D.K. ; Forte,T. ; Yost,D. ; Davis,P. ; Curtis,A.V. ; Preble,D.M. ; Cann,S.G. ; Denault,S. ; Liu,H.-Y. ; Shaw,J.C. ; Sullivan,N.T. ; Mastovich,M.E.
出版情報: Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA.  Part1  pp.388-407,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4000
2.

国際会議録

国際会議録
Ferri,J.E. ; Tyrrell,B. ; Astolfi,D.K. ; Yost,D. ; Davis,P. ; Wheeler,B. ; Mallen,R. ; Jarmolowicz,J. ; Cann,S.G. ; Liu,H.Y. ; Ma,M. ; Chan,D.Y. ; Rhyins,P.D. ; Carney,C. ; Ferri,J.E. ; Blachowicz,B.A.
出版情報: Optical Microlithography XIV.  4346  pp.191-204,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4346