1.

国際会議録

国際会議録
kim,M.Y. ; Lee,H. ; Yoon,Y.J. ; Choi,B.-Y.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology VII.  pp.243-251,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4066
2.

国際会議録

国際会議録
Jeong,W.G. ; Lee,S.W. ; Kim,D.H. ; Yoon,Y.J. ; Lee,D.H. ; Choi,B.Y. ; Choi,S.-S. ; Jung,S.M. ; Jeong,S.-H.
出版情報: 21st Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  4562  pp.99-110,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4562