1.

国際会議録

国際会議録
Lee,K.H. ; Cho,H.K. ; Park,J.H. ; Kim,Y.H. ; Yoon,H.S. ; Sohn,J.M.
出版情報: 16th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management.  pp.442-453,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2884
2.

国際会議録

国際会議録
Kim,Y.H. ; Park,J.H. ; Lee,K.H. ; Cho,H.K. ; Yoon,H.S.
出版情報: 16th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management.  pp.548-561,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2884
3.

国際会議録

国際会議録
Sohn,J.M. ; Choi,S.W. ; Kim,B.G. ; Cho,H.K. ; Yoon,H.S.
出版情報: Photomask and X-Ray Mask Technology III.  pp.2-11,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2793
4.

国際会議録

国際会議録
Kim,Y.H. ; Park,J.H. ; Lee,K.H. ; Choi,S.W. ; Yoon,H.S. ; Sohn,J.M.
出版情報: Photomask and X-Ray Mask Technology V.  pp.455-462,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3412
5.

国際会議録

国際会議録
Kim,B.G. ; Choi,S.W. ; Yu,Y.H. ; Yoon,H.S. ; Sohn,J.M.
出版情報: Photomask and X-ray mask technology IV : 17-18 April, 1997, Kawasaki, Japan.  pp.42-52,  1997.  Bellingham, Washington.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3096