1.

国際会議録
国際会議録
1. Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition of Nitrogen-Doped Polysilicon for High-Performance and High-Reliability CMOS Technology
Sun, S. C. ; Wang, L. S. ; Yeh, F. L.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.329-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387
2.

国際会議録
国際会議録
2. CHARACTERIZATION OF CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING DIELECTRICS FOR MULTILEVEL METALLIZATION
Sun, S. C. ; Yeh, F. L. ; Tien, H. Z.
出版情報: Advanced metallization for devices and circuits--science, technology, and manufacturability : symposium held April 4-8, 1994, San Francisco, California, U.S.A..  pp.139-,  1994.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 337
3.

国際会議録
国際会議録
3. RAPID THERMAL OXIDATION OF LIGHTLY DOPED SILICON IN N2O
Sun, S. C. ; Wang, L. S. ; Yeh, F. L. ; Lai, T. S. ; Lin, Y. H.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing III : symposium held April 4-7, 1994, San Francisco, California, U.S.A..  pp.181-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 342