1.

国際会議録
国際会議録
1. Feasibility study of 6 kHz ArF excimer laser for 193 nm immersion lithography
Hori, T. ; Yabu, T. ; Ishihara, T. ; Watanabe, T. ; Wakabayashi, O. ; Sumitani, A. ; Kakizaki, K. ; Mizoguchi, H.
出版情報: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.1285-1292,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5754
2.

国際会議録
国際会議録
2. Influence of Inclusions on Fatigue Characteristics of Non-Combustible Mg Alloy
Kitahara, Y. ; Shimazaki, H. ; Yabu, T. ; Noguchi, H. ; Sakamoto, M. ; Ueno, H.
出版情報: Materials structure & micromechanics of fracture IV : MSMF-4 : proceedings of the fourth International Conference on Materials Structure & Micromechanics of Fracture, Brno, Czech Republic, June 23-25, 2004.  pp.359-362,  2005.  Uetikon-Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 482
3.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
3. Self-Sensing Actuator for Semi-Active Vibration Suppression
Onoda, J. ; Makihara, K. ; Yabu, T.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/ASCE/AHS/ASC Structures, Structural Dynamics, and Materials Conference
シリーズ巻号: 46th
4.

国際会議録
国際会議録
4. Beam quality of a new-type MOPO laser system for VUV laser lithography
Wakabayashi, O. ; Ariga, T. ; Kumazaki, T. ; Sasano, K. ; Watanabe, T. ; Yabu, T. ; Hori, T. ; Kakizaki, K. ; Sumitani, A. ; Mizoguchi, H.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1772-1780,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377
5.

国際会議録
国際会議録
5. Development of high-power ArF/F2 laser platform for VUV microlithography
Kakizaki, K. ; Fujimoto, J. ; Yamazaki, T. ; Suzuki, T. ; Matsunaga, T. ; Kawasuji, Y. ; Watanabe, Y. ; Kaminishi, M. ; Inoue, T. ; Mizoguchi, H. ; Kumazaki, T. ; Ariga, T. ; Watanabe, T. ; Yabu, T. ; Sasano, K. ; Hori, T. ; Wakabayashi, O. ; Sumitani, A.
出版情報: Optical Microlithography XVII.  pp.1805-1814,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5377