1.

国際会議録
国際会議録
1. STRESS ANALYSIS OF LARGE DIAMETER SILICON WAFERS UNDER THERMAL PROCESSING
Xin, P.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.660-670,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(1)
2.

国際会議録
国際会議録
2. High-isolation contact switch in MEMS phase shifter
Li, W. ; Shi, Y. ; Qing, J. ; Jiang, L. ; Ren, Z. ; Xin, P. ; Zhu, Z. ; Lai, Z.
出版情報: Fifth International Conference on Thin Film Physics and Applications : 31 May-2 June, 2004, Shanghai, China.  pp.547-550,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5774
3.

国際会議録
国際会議録
3. Failure analysis of MEMS RF cantilevered beam switch
Guo, F. ; Xu, X. ; Li, C. ; Ge, Y. ; Yu, J. ; Xin, P. ; Zhu, R. ; Lai, Z. ; Zhu, Z. ; Lu, W.
出版情報: Fifth International Conference on Thin Film Physics and Applications : 31 May-2 June, 2004, Shanghai, China.  pp.506-509,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5774