1.

国際会議録
国際会議録
1. CLASP(capture and locking alignment spring positioner):a micromachined fiber auto-positioning device
Kravitz,S.H. ; Word,J.C. ; Bauer,T.M. ; Seigal,P.K. ; Armendariz,M.G.
出版情報: Smart structures and materials 1996 : Smart electronics and MEMS : 28-29 January, 1996, San Diego, California.  pp.2-10,  1996.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2722
2.

国際会議録
国際会議録
2. Model-based OPC for first-generation 193-nm lithography
Lucas,K.D. ; Word,J.C. ; Vandenberghe,G.N. ; Verhaegen,S. ; Jonckheere,R.M.
出版情報: Optical Microlithography XIV.  4346  pp.119-130,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4346