1.

国際会議録
国際会議録
1. Dielectric Properties of(ZrxSnyTiz) 204 Films Deposited by Ion Beam Sputtering
Ishizuka, Y. ; Wicaksana, D. ; Maria, J.P. ; Kingon, A.I.
出版情報: Low and High Dielectric Constant Materials : Materials Science, Processing, and Reliability Issues, proceedings of the fourth International Symposium and Thin Film Materials for Advanced Packaging Technologies : proceedings of the second International Symposium.  pp.123-129,  1999.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-7
2.

国際会議録
国際会議録
2. * An Annealing Study of La 2O 3-SiO 2 and ZrO 2-SiO 2 Gate Dielectrics
Kingon, A.I. ; Maria, J.P. ; Wicaksana, D. ; Parrette, J.
出版情報: Rapid thermal and other short-time processing technologies II : proceedings of the international symposium.  pp.221-230,  2001.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-9
3.

国際会議録
国際会議録
3. Integration Issues with High k Gate Stacks*
Osburn, C.M. ; Han, S.K. ; Kim, I. ; Campbell, S.A. ; Garfunkel, E. ; Gustafson, T. ; Hauser, J. ; King, T.-J. ; Liu, Q. ; Ranade, P. ; Kingon, A. ; Kwong, D.-L. ; Lee, S.J. ; Lee, C.H. ; Lee, J. ; Onishi, K. ; Kang, C.S. ; Choi, R. ; Cho, H. ; Nich, R. ; Lucovsky, G. ; Hong, J.G. ; Ma, T.P. ; Zhu, W. ; Luo, Z. ; Maria, J.P. ; Wicaksana, D. ; Misra, V. ; Lee, J.J. ; Suh, Y.S. ; Parksons, G. ; Niu, D. ; Stemmer, S.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.375-390,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-6
4.

国際会議録
国際会議録
4. ION BOMBARDMENT EFFECTS ON THE GROWTH OF RUTILE PHASE OF REACTIVELY SPUTTERED TiO2 THIN FILMS
Wicaksana, D. ; Tsujikawa, T. ; Kobayashi, A. ; Ono, K. ; Kinbara, A.
出版情報: Phase transformations in thin films : thermodynamics and kinetics : symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A..  pp.233-,  1993.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 311