1.

国際会議録
国際会議録
1. MECHANISMS OF PARTICLE REMOVAL DURING BRUSH SCRUBBER CLEANING
Xu, K. ; Vos, R. ; Vereecke, G. ; Mertens, P. ; Heyns, M. ; Vinckier, C. ; Fransaer, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.137-144,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
2.

国際会議録
国際会議録
2. A MECHANISM FOR THE SILICON OXIDE GROWTH BY OZONATED SOLUTIONS
De Smedt, F. ; De Gendt, S. ; Cornelissen, I. ; Heyns, M.M. ; Vinckier, C.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium.  pp.407-415,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-36
3.

国際会議録
国際会議録
3. THE REMOVAL OF ORGANIC CONTAMINATION BY 03/DI-WATER PROCESSES: A THEORETICAL STUDY
De Smedt, F. ; Vankerckhoven, H. ; Vinckier, C. ; De Gendt, S. ; Claes, M. ; Heyns., M.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.54-60,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
4.

国際会議録
国際会議録
4. REMOVAL OF PHOTORESIST BY 03 DI-WATER PROCESSES: DETERMINATION OF DEGRADATION PRODUCTS
Vankerckhoven, H. ; De Smedt, F. ; Vinckier, C. ; Van Herp, B. ; Claes, M. ; De Gendt, S. ; Heyns, M.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.77-84,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
5.

国際会議録
国際会議録
5. OPTIMIZATION OF A BRUSH SCRUBBER FOR NANO-SIZED PARTICLES
Xu, K. ; Vos, R. ; Arnauts, S. ; Lux, M. ; Schaetzlein, W. ; Speh, U. ; Mertens, P. ; Heyns, M. ; Vinckier, C.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.187-194,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26