1.

国際会議録
国際会議録
1. Properties of H, O and C in GaN
Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Lee, J. W. ; Vartuli, C. B. ; MacKenzie, J. D. ; Ren, F. ; Wilson, R. G. ; Zavada, J. M. ; Shul, R. J. ; Zolper, J. C.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.347-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
2.

国際会議録
国際会議録
2. Comparison of ICI and Ibr for Dry Etching of III-Nitrides
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Shul, R. J.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.1023-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
3.

国際会議録
国際会議録
3. Plasma Chemistries for Dry Etching GaN, AlN, InGaN and InAlN
Pearton, S. J. ; Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; Donovan, S. M. ; MacKenzie, J. D. ; Abernathy, C. R. ; Shul, R. J. ; McLane, G. F. ; Ren, F.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.309-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
4.

国際会議録
国際会議録
4. Chemical Etching of AlN and InAlN in KOH Solutions
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Zolper, J. C. ; Shul, R. J. ; Ren, F.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.1017-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
5.

国際会議録
国際会議録
5. Electron Cyclotron Resonance Etching of SiC in SF6/O2 and NF3/O2 Plasmas
Ren, F. ; Grow, J. M. ; Bhaskaran, M. ; Lee, J. W. ; Vartuli, C. B. ; Lothian, J. R. ; Flemish, J. R.
出版情報: Compound semiconductor electronics and photonics : symposium held April 8-10, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.251-,  1996.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 421
6.

国際会議録
国際会議録
6. Chlorine-Based Plasma Etching of GaN
Shul, R. J. ; Briggs, R. D. ; Pearton, S. J. ; Vartuli, C. B. ; Abernathy, C. R. ; Lee, J. W. ; Constantine, C. ; Barratt, C.
出版情報: III-V nitrides : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.969-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 449
7.

国際会議録
国際会議録
7. High Rate Dry Etching of GaN, AIN and InN in ECR Cl2/CH4/H2/Ar Plasmas
Vartuli, C. B. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; Shul, R. J. ; Kilcoyne, S. P. ; Crawford, M. Hagerott ; Howard, A. J. ; Parmeter, J. E.
出版情報: Materials - fabrication and patterning at the nanoscale : Symposium held April 19-20, 1995, San Francisco, California, USA.  pp.37-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 380
8.

国際会議録
国際会議録
8. Wet Chemical Etching Survey of III-Nitrides
Cho, Hyun ; Hays, D. C. ; Vartuli, C. B. ; Pearton, S. J. ; Abernathy, C. R. ; MacKenzie, J. D. ; Ren, F. ; Zolper, J. C.
出版情報: Power semiconductor materials and devices : symposium held December 1-4, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.265-,  1998.  Warrendale, Penn..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 483
9.

国際会議録
国際会議録
9. ICP Dry Etching of III-V Nitrides
Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; MacKenzie, J. D. ; Donovan, S. M. ; Abernathy, C. R. ; Pearton, S. J. ; Shul, R. J. ; Constantine, C. ; Barratt, C. ; Katz, A. ; Poyakov, A. Y. ; Shin, M. ; Skowronski, M.
出版情報: Gallium nitride and related materials II : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.393-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 468
10.

国際会議録
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10. Plasma Damage Effects in InAlN Field-Effect Transistors
Ren, F. ; Lothian, J. R. ; Chen, Y. K. ; MacKenzie, J. D. ; Donovan, S. M. ; Abernathy, C. R. ; Vartuli, C. B. ; Lee, J. W. ; Pearton, S. J. ; Wilson, R. G.
出版情報: Gallium nitride and related materials II : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.385-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 468