1.

国際会議録
国際会議録
1. *SELF-ALIGNED SILICIDES FOR ULSI
Maex Karen ; Vandenabeele, P. ; Deweerdt, B. ; Coppye, W. ; Vermeiren, C. ; Lauwers, A. ; Maex, K.
出版情報: Advanced metallization and processing for semiconductor devices and circuits--II : symposium held April 27-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.133-144,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 260
2.

国際会議録
国際会議録
2. GEOMETRICAL EFFECTS AND DISINTEGRATION OF NARROW TiSi2 /POLY-Si LINES
Norstom, H. ; Maex, K. ; Vandenabeele, P.
出版情報: Advanced metallizations in microelectronics : symposium held April 16-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.173-178,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 181
3.

国際会議録
国際会議録
3. Temperature Calibration in Microelectronic Manufacturing
Vandenabeele, P. ; Renken, W.
出版情報: Advances in rapid thermal processing : proceedings of the symposium.  pp.359-370,  1999.  Pennington, N. J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-10
4.

国際会議録
国際会議録
4. *IMPACT OF PATTERED LAYERS ON TERMPERATURE NON-UNIFORMITY DURING RAPID THERMAL PROCESSING FOR VLSI-APPLICATIONS
Vandenabeele, P. ; Maex, K. ; De Keersmaecker, R.
出版情報: Rapid thermal annealing/chemical vapor deposition and integrated processing : sympoisium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.149-160,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 146
5.

国際会議録
国際会議録
5. GEOMETRICAL EFFECTS AND DISINTEGRATION OF NARROW TiSi2/POLY-Si LINES
Norstrom, H. ; Maex, K. ; Vandenabeele, P.
出版情報: Polysilicon thin films and interfaces.  pp.71-76,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 182
6.

国際会議録
国際会議録
6. IN-SITU EMMISSIVITY AND TEMPERATURE MEASUREMENT DURING RAPID THERMAL PROCESSING (RTP)
Vandenabeele, P. ; Schreutelkamp, R. J. ; Maex, K. ; Vermeiren, C. ; Coppye, W.
出版情報: Advanced metallization and processing for semiconductor devices and circuits--II : symposium held April 27-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.653-658,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 260
7.

国際会議録
国際会議録
7. Structural and Electrical Characterization of FeSix-Layers (1｡蛉｡？) Prepared by RTP of Fe Layers Sputtered on Si (100)
Libezny, M. ; Poortmans, J. ; Amesz, P. H. ; Donaton, R. A. ; Larsen, K. Kyllesbech ; Vandenabeele, P. ; Jonckx, F. ; Maex, K. ; Nijs, J.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing IV : symposium held April 17-20, 1995, San Francisco, California, U.S.A..  pp.389-,  1995.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 387