1.

国際会議録
国際会議録
1. Scaling of Chlorosilane SiC CVD to Multi-Wafer Epitaxy System
J.W. Wan ; M.J. Loboda ; M.F. MacMillan ; G.Y. Chung ; E.P. Carlson ; V.M. Torres
出版情報: Silicon carbide and related materials 2006 : ECSCRM 2006, Proceedings of the 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Newcastle upon Tyne, UK, September 2006.  pp.145-148,  2007.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 556-557
2.

国際会議録
国際会議録
2. Progress of SiC Epitaxy on 150mm Substrates
J. Zhang ; B. Thomas ; K. Moeggenborg ; V.M. Torres ; D. Hansen
出版情報: Silicon Carbide and Related Materials 2014 : Selected peer reviewed papers from the European Conference on Silicon Carbide & Related Materials (ECSCRM 2014), September 21-25, 2014, Grenoble, France.  pp.161-164,  2015.  Aedermannsdorf, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 821-823