1.

国際会議録
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1. Gettering technologies in advanced low temperature process
Sano, M. ; Ohgushi, S. ; Sadamitsu, S. ; Tsuya, H.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Crystalline Defects and Contamination, their Impact and Control in Device Manufacturing II.  pp.281-294,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-22
2.

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2. INTRODUCTORY REMARKS -- GETTERING PHENOMENA
Weber, E.R. ; Tsuya, H.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.771-771,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
3.

国際会議録
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3. ROOM TEMPERATURE COPPER OUT-DIFFUSION FROM THE BULK OF SILICON WAFERS AND ITS BEHAVIOR FOLLOWING VARIOUS POSTANNEAL TREATMENTS
McCarthy, C. ; Miyazaki, M. ; Horie, H. ; Okamoto, S. ; Tsuya, H.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.629-640,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(1)
4.

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4. REDUCTION OF GROWN-IN DEFECTS BY HIGH TEMPERATURE ANNEALING
Adachi, N. ; Hisatomi, T. ; Sano, M. ; Tsuya, H.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.698-706,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(1)
5.

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5. RADIAL DISTRIBUTION OF THERMALLY-INDUCED DEFECTS IN HEAVILY BORON-DOPED SILICON WAFERS
Asayama, E. ; Ono, T. ; Takeshita, M. ; Hourai, M. ; Sano, M. ; Tsuya, H.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.546-556,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(1)
6.

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6. EFFECT OF HEAVY BORON DOPING ON OXIDE PRECIPITATE GROWTH IN CZOCHRALSKI SILICON
Ono, T. ; Asayama, E. ; Horie, H. ; Hourai, M. ; Sueoka, K. ; Tsuya, H. ; Rozgonyi, G.A.
出版情報: Silicon materials science and technology : proceedings of the Eighth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.1113-1125,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-1(2)
7.

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7. Impact of Heavy Boron and Antimony Doping on COPs and GOI
Ono, T. ; Hone, H. ; Miyazaki, M. ; Tsuya, H. ; Rozgonyi, G.A.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Defects in Silicon.  pp.300-312,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-1
8.

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8. Investigation of the Effect of Thermal History on Ring-OSF Formation in CZ-Silicon Crystals
Kelly, G. P. ; Hourai, M. ; Umeno, S. ; Sano, M. ; Tsuya, H.
出版情報: Defect and impurity engineered semiconductors, II : symposium held April 13-17, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.21-,  1998.  Warrendale, Pa.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 510
9.

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9. Control of grown-in defects in nitrogen-doped CZ silicon crystal for new generation devices
Hourai, M. ; Ono, T. ; Umeno, S. ; Tanaka, T. ; Asayaoia, E. ; Nishikawa, H. ; Sano, M. ; Tsuya, H.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.19-34,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29
10.

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10. Heavy metal gettering in SIMOX wafers
Jablonski, J. ; Miyamura, Y. ; Imai, M. ; Tsuya, H.
出版情報: Proceedings of the Sixth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices.  pp.28-37,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-11