1.

国際会議録
国際会議録
1. HOMOGENEITY OF WET OXIDATION BY RTP
Gluck, M. ; Konig, U. ; Hersener, J. ; Nenyei, Z. ; Tillmann, A.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing III : symposium held April 4-7, 1994, San Francisco, California, U.S.A..  pp.215-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 342
2.

国際会議録
国際会議録
2. MODELLING OF TEMPERATURE DISTRIBUTION OF SEMICONDUCTORS DURING RAPID THERMAL PROCESSING
Tillmann, A.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing III : symposium held April 4-7, 1994, San Francisco, California, U.S.A..  pp.377-,  1994.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 342