1.

国際会議録
国際会議録
1. Characteristics of Polycrystalline Si1-xGex Alloy Deposited in a Vertical LPCVD System
Teixeira, R. C. ; Doi, I. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W. ; Zakia, M. B. P. ; dos Santos Filho, S. G.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.307-312,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
2.

国際会議録
国際会議録
2. Silicon Oxide Sacrificial Layer for MEMS Applications
Biasotto, C. ; Boscoli, F. A. ; Teixeira, R. C. ; Ramos, A. C. S. ; Diniz, J. A. ; Daltrini, A. M. ; Moshkalyov, S. A. ; Doi, I.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.389-397,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
3.

国際会議録
国際会議録
3. Morphological and Electrical Study of Poly-SiGe Alloy Deposited by Vertical LPCVD
Teixeira, R. C. ; Doi, I. ; Zakia, M. B. P. ; Diniz, J. A.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium.  pp.188-196,  2005.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-08
4.

国際会議録
国際会議録
4. Stress Analysis of Vertical LPCVD Thick Poly-Si by Micro-Raman Spectroscopy for MEMS Applications
Scoralick Junior, C. ; Doi, I. ; Teixeira, R. C. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.113-118,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03
5.

国際会議録
国際会議録
5. Formation and Stability of Ni(Pt)Si/Poly-Si Layered Structure
Santos, R. E. ; Doi, I. ; Teixeira, R. C. ; Diniz, J. A. ; Swart, J. W. ; dos Santos, S. G.
出版情報: Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2004 : proceedings of the nineteenth international symposium.  pp.259-264,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-03