1.

国際会議録

国際会議録
Jeng, Y.R. ; Su, C.C. ; Tan, C.M.
出版情報: Progress on advanced manufacture for micro/nano technology 2005 : proceedings of the 2005 International Conference on Advanced Manufacture Taipei, Taiwan, R.O.C. November 28th-December 2nd, 2005.  pp.1045-1050,  2006.  Uetikon-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 505-507
2.

国際会議録

国際会議録
Yang, L.Y. ; Zhang, D.H ; Li, C.Y. ; Foc, P.D. ; Prasad, K. ; Tan, C.M.
出版情報: Thin film materials, processes, and reliability, plasma processing for the 100 nm node and copper interconnects with low-k inter-level dielectric films : proceedings of the international symposium.  pp.174-180,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-13
3.

国際会議録

国際会議録
Prasad, K. ; Yuan, X.L. ; Tan, C.M. ; Zhang, D.H. ; Li, C. Y. ; Wang, S.R. ; Yuan, S.Y.J. ; Xie, J.L. ; Gui, D. ; Foo, P.D.
出版情報: Silicon materials - processing characterization and reliability : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A..  pp.395-400,  2002.  Warrendale.  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 716
4.

国際会議録

国際会議録
Loh, S.W. ; Zhang, D.H. ; Li, C.Y. ; Liu, R. ; Wee, A.T.S. ; Foo, P.D. ; Xie, Joseph ; Prasad, K. ; Tan, C.M. ; Lee, Y.K.
出版情報: Semiconductor technology (ISTC 2001) : proceedings of the 1st International Conference on Semiconductor Technology.  pp.116-122,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-17
5.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Tan, C.M. ; Carr, L.W.
出版情報: NASA Technical Reports.  19960047109  (NASA-TM-110375),  pp.1-98,  1996.  National Aeronautics and Space Adminstration