1.

国際会議録
国際会議録
1. Hybrid BARC approaches for FEOL and BEOL intergration
Nakano, A. ; Okamoto, K. ; Yamamoto, Y. ; Kozawa, T. ; Tagawa, S. ; Kai, T. ; Nemoto, H. ; Shimokawa, T.
出版情報: Advances in resist technology and processing XXII : 28 February-2 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.436-448,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5753(1)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Study of Buried Polymer-Polymer Interfaces Using Slow Positron Beams
Pujari, P.K. ; Tashiro, M. ; Honda, Y. ; Suzuki, R. ; Tagawa, S.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-12 : Proceedings of the 12th International Conference on Positron Annihilation, August 6-12, 2000, München, Germany.  pp.618-620,  2001.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 363-365
3.

国際会議録
国際会議録
3. Development of a Pulsing System with the Linac Based Slow Positron Beam
Tashiro, M. ; Honda, Y. ; Yamaguchi, T. ; Pujari, P.K. ; Kimura, N. ; Kozawa, T. ; Tagawa, S.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-12 : Proceedings of the 12th International Conference on Positron Annihilation, August 6-12, 2000, München, Germany.  pp.664-666,  2001.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 363-365
4.

国際会議録
国際会議録
4. Study of Interfaces in Polymer Bilayers by Slow Positron Beam
Terashima, Y. ; Seki, S. ; Miyamoto, K. ; Tashiro, M. ; Honda, Y. ; Tagawa, S.
出版情報: Positron annihilation ICPA-13 : proceedings of the 13th International Conference on Positron Annihilation, Kyoto, Japan, September 2003.  pp.349-351,  2004.  Uetikon-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 445-446
5.

国際会議録
国際会議録
5. Development of a New Positron Beam for Coincident Studies with Laser Excitation
Honda, Y. ; Tashiro, M. ; Yamaguchi, T. ; Pujari, P.K. ; Kimura, N. ; Kozawa, T. ; Nishijima, S. ; Isoyama, G. ; Tagawa, S.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-12 : Proceedings of the 12th International Conference on Positron Annihilation, August 6-12, 2000, München, Germany.  pp.667-669,  2001.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 363-365
6.

国際会議録
国際会議録
6. Charged Species in ｦﾒ-Conjugated Polysilanes as Studied by Absorption Spectroscopy with Low-Temperature Matrices
Ushida, K. ; Kira, A. ; Tagawa, S. ; Yoshida, Y. ; Shibata, H.
出版情報: Polymers for microelectronics : resists and dielectrics.  pp.323-,  1994.  Washington, DC.  American Chemical Society
シリーズ名: ACS symposium series
シリーズ巻号: 537
7.

国際会議録
国際会議録
7. Pulse Radiolysis Studies on the Mechanism of the High Sensitivity of Chloromethylated Polystyrene as an Electron Negative Resist
Tabata, Y. ; Tagawa, S. ; Washio, M.
出版情報: Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers.  pp.151-,  1984.  Washington, D.C..  American Chemical Society
シリーズ名: ACS symposium series
シリーズ巻号: 266
8.

国際会議録
国際会議録
8. Low Temperature Positron Studies in Polymethylmethacrylate
Pujari, P.K. ; Tashiro, M. ; Tseng, C.Y. ; Honda, Y. ; Nishijima, S. ; Tagawa, S.
出版情報: Positron annihilation, ICPA-12 : Proceedings of the 12th International Conference on Positron Annihilation, August 6-12, 2000, München, Germany.  pp.275-277,  2001.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 363-365
9.

国際会議録
国際会議録
9. Difference between initial distributions of proton and counter anion in chemically amplified electron-beam resist [6153-41]
Kozawa, T. ; Yamamoto, H. ; Saeki, A. ; Tagawa, S.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXIII.  pp.615314-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6153
10.

国際会議録
国際会議録
10. Outgassing characteristics of acetal resists for 157-nm lithography investigated by time-resolved measurement
Matsui, Y. ; Seki, S. ; Matsui, S. ; Tagawa, S. ; Irie, S. ; Itani, T.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.178-185,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376