1.

国際会議録

国際会議録
Tamboli, Dnyanesh ; Desai, Vimal ; Seal, Sudipta ; Sundaram, Kalpathy B.
出版情報: Chemical mechanical planariarization in IC device manufacturing III : proceedings of the international symposium.  pp.333-341,  1999.  Pennington, N. J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-37
2.

国際会議録

国際会議録
Sundaram, Kalpathy B. ; Chathapuram, Venkatraman S. ; Desai, Vimal ; Seal, Sudipta
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.173-179,  2000.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-26
3.

国際会議録

国際会議録
Vijayakumar, Arun ; Du, Tianbao ; Sundaram, Kalpathy B. ; Desai, Vimal
出版情報: Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A..  pp.251-256,  2003.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 767
4.

国際会議録

国際会議録
Vijayakumar, Arun ; Du, Tianbao ; Sundaram, Kalpathy B. ; Desai, Vimal
出版情報: Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.203-208,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 816