1.

国際会議録

国際会議録
Marsden, K. ; Sadamitsu, S. ; Hourai, M. ; Sumita, S. ; Shigematsu, T.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.684-694,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
2.

国際会議録

国際会議録
Hourai, M. ; Nagashima, T. ; Kajita, E. ; Miki, S. ; Sumita, S. ; Sano, M. ; Shigematsu, T.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.156-167,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
3.

国際会議録

国際会議録
Sano, M. ; Sumita, S. ; Shigematsu, T. ; Fujino, N.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.784-795,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10
4.

国際会議録

国際会議録
Yanase, Y. ; Horie, H. ; Oka, Y. ; Sano, M. ; Sumita, S. ; Shigematsu, T.
出版情報: Proceedings of the Third International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing.  pp.546-553,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-7
5.

国際会議録

国際会議録
Sano, M. ; Hourai, M. ; Sumita, S. ; Shigematsu, T.
出版情報: Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 93 Grenoble/France : crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing.  pp.3-15,  1993.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1993-15