1.

国際会議録
国際会議録
1. The Impact of Crystal Quality by Delineation of COP and the Impact on the Silicon Wafer Surface
Graef, D. ; Suhren, M. ; Lambert, U. ; Schmolke, R. ; Ehiert, A. ; Ammon, W.v. ; Wagner, P.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on High Purity Silicon.  pp.117-131,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-13
2.

国際会議録
国際会議録
2. Impact of Chemical and Epitaxial Treatment on Surface Defects on Silicon Wafers
Schmolke, R. ; Graf, D. ; Suhren, M. ; Kirchner, R. ; Piontek, H. ; Wagner, P.
出版情報: Defects in electronic materials II : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.137-,  1997.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 442
3.

国際会議録
国際会議録
3. Crystal Defects in Highly Boron Doped Silicon
Suhren, M. ; Graef, D. ; Lambert, U. ; Wagner, P.
出版情報: Proceedings of the Fourth International Symposium on High Purity Silicon.  pp.132-139,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-13
4.

国際会議録
国際会議録
4. Morphology and Chemical Composition of Polished Silicon Wafer Surfaces
Graf, D. ; Schnegg, A. ; Schmolke, R. ; Suhren, M. ; Gerber, H.A. ; Wagner, P.
出版情報: Proceedings of the First International Symposium on Chemical Mechanical Planarization.  pp.186-196,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-22