1.

国際会議録
国際会議録
1. Thermally Induced Dislocation and Slip Defects in Silicon
Cho, C.R. ; Kim, Y.S. ; Lee, J.K. ; Ko, S.W. ; Choi, D.J. ; Son, C.B. ; Stephens, A.E. ; Rozgonyi, G.A.
出版情報: ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium.  pp.350-358,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-2
2.

国際会議録
国際会議録
2. AVOIDING FURNACE SLIP IN THE ERA OF SHALLOW TRENCH ISOLATION
Stephens, A.E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.774-785,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
3.

国際会議録
国際会議録
3. AVOIDING FURNACE SLIP IN THE ERA OF SHALLOW TRENCH ISOLATION
Stephens, A.E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.774-785,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
4.

国際会議録
国際会議録
4. CONTROLLING THE OXYGEN PRECIPITATION IN NON-EPI WAFERS TO PREVENT CHARGE LEAKAGE FROM DRAM TRENCH CAPACITORS
Stephens, A.E.
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.908-919,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-10