1.

国際会議録

国際会議録
Johnson, S.C. ; Bailey, T.C. ; Dickey, M.D. ; Smith, B.J. ; Kim, E.K. ; Jamieson, A.T. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Mancini, D.P. ; Dauksher, W.J. ; Nordquist, K.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.197-202,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
2.

国際会議録

国際会議録
Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Bailey, T.C. ; Johnson, S.C. ; Stacey, N.A. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, C.G. ; Sreenivasan, S.V. ; Schumaker, N.E.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  1  pp.12-23,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037
3.

国際会議録

国際会議録
Xu, F. ; Stacey, N.A. ; Watts, M. ; Truskett, V. ; McMackin, I. ; Choi, J. ; Schumaker, P. ; Thompson, E. ; Babbs, D. ; Sreenivasan, S.V. ; Willson, C.G. ; Schumaker, N.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VIII.  pp.232-241,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5374
4.

国際会議録

国際会議録
Burns, R.L. ; Johnson, S.C. ; Schmid, G.M. ; Kim, E.K. ; Dickey, M.D. ; Meiring, J. ; Burns, S.D. ; Stacey, N.A. ; Willson, C.G. ; Convey, D. ; Wei, Y. ; Fejes, P. ; Gehoski, K.A. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Dauksher, W.J. ; Resnick, D.J.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VIII.  pp.348-360,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5374
5.

国際会議録

国際会議録
Smith, B.J. ; Stacey, N.A. ; Donnelly, J.P. ; Onsongo, D.M. ; Bailey, T.C. ; Mackay, C.J. ; Resnick, D.J. ; Dauksher, W.J. ; Mancini, D.P. ; Nordquist, K.J. ; Sreenivasan, S.V. ; Banerjee, S.K. ; Ekerdt, J.G. ; Willson, G.C.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VII.  2  pp.1029-1034,  2003.  Bellingham, WA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5037