1.

国際会議録
国際会議録
1. The Measurement of Submicron Epitaxial Layer Thickness and Free Carrier Concentration by Infrared Reflectance Spectroscopy
Fowler, B.W. ; Simmons, D.G. ; Carpio, R.A. ; Liu, S. ; Solomon, P.R. ; Nishikida, K.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices.  pp.254-265,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-33
2.

国際会議録
国際会議録
2. A Comparison of Infrared Reflectance Spectroscopy and Spectroscopic Ellipsometry for Polysilicon Film Process Control
Carpio, R. ; Fowler, B. ; Simmons, D.G. ; Liu, S. ; Solomon, P.R.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials and Devices.  pp.243-253,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-33