1.

国際会議録
国際会議録
1. CD prediction by threshold energy resist model (TERM)
Yoo, J.-Y. ; Kwon, Y.-K. ; Park, J.-T. ; Sohn, D.-S. ; Kim, S.-G. ; Sohn, Y.-S. ; Oh, H.-K.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.1287-1295,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
2.

国際会議録
国際会議録
2. A Simple optical system parameter optimization method by comparing the critical dimension
Ha, M.-A. ; Sohn, D.-S. ; Jun, K.-A. ; Yoo, J.-Y. ; Oh, H.-K. ; Kim, J. ; Park, I.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XX.  2  pp.1115-1123,  2003.  Bellingham, CA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5039
3.

国際会議録
国際会議録
3. Resist develop prediction by Monte Carlo simulation
Sohn, D.-S. ; Jeon, K.-A. ; Sohn, Y.-S. ; Oh, H.-K.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XIX.  Part Two  pp.971-977,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4690